Översikt över aktiv vibrationsisoleringsplattform

STACIS ® III är ett flexibelt aktivt vibrationsisoleringssystem. STACIS aktiva isoleringsplattformssystem använder avancerade inertiella vibrationssensorer, avancerade styralgoritmer och piezoaktivatorer för att filtrera markbeväxlingen genom att kontinuerligt mäta markverksamheten och sedan skala och krympa piezoaktivatorerna för att eliminera vibrationer i realtid.

STACIS** var ursprungligen utformad för att isolera precisionsmikrografi, mätning och inspektionsutrustning i avancerade halvledarfabriker och har nu blivit en branschstandardlösning** för känsliga instrument i bullriga miljöer, inklusive men inte begränsat till halvledarfabriker, felanalyslaboratorier, nanoteknikforskning, nanotillverkningsanläggningar och materialforskningscenter.

STACIS III Active Isolation Platform System innehåller en helt ny och förbättrad digital styrare DC-2020. Detta helt nya ** styrsystem har en ny dubbelkärnprocessor, Ethernet och USB-seriella portar på framsidan och baksidan för att ge användarna ett modernt och lättanvändbart grafiskt användargränssnitt (GUI). Med hundratals framgångsrika installationer över hela världen är STACIS det idealiska vibrationsisoleringssystemet för instrument som är känsliga för vibrationer**.

Fördelarna med STACIS III

STACIS är hundratals gånger hårdare än luftisolering och har inga begränsningar för luftisoleringssystem. Det finns ingen "mjuk" fjädring och till skillnad från aktiva luftsystem kan STACIS placeras under verktyget med ett internt aktivt luftisoleringssystem, vilket gör att båda systemen fungerar i ***-tillstånd.

Unik seriell design och patenterad högkraftig piezoelektrisk teknik för bred aktiv bandbredd på 0,6 Hz***150 Hz och aktiv vibrationsdämpning med 90% från 2 Hz**

Aktivt vibrationsisolerande plattformssystem STACIS III

▪ ** Ny förbättrad digital DC-2020-kontroller med lättanvändbart grafiskt användargränssnitt

▪ Isolering börjar vid 0,6 Hz och uppnår en isoleringshastighet på 40% *** 70% vid 1 Hz

▪ Vertikal och horisontell isolering större än 90% vid frekvenser 2 Hz och högre

▪ Minska infrastrukturkrav och byggkostnader för att fungera även med större externa vibrationer

▪ Effektivt isoleringsområde, 0,6 Hz till 150 Hz

▪ Få bredt erkännande och bekräftelse av många användare

▪ 6-riktad frihetsgrad hård installation design, utan luftfjädring

▪ Kraftfullt styrsystem utan regelbunden omkalibrering

▪ Point-of-use-design för sömlös kompatibilitet med kundens befintliga vibrationsisoleringssystem

▪ När den yttre miljön förändras justeras systemet automatiskt för att anpassa sig till olika yttre vibrationer

▪ Statis från TMC ® Teknik för aktiv dämpning med hjälp av piezoelektriska aktuatorer

▪ Digitala kontroller och datorbaserat grafiskt användargränssnitt (GUI)

▪ Förbättra kundernas produktproduktion, kvalitet och färdig produktivitet.

▪ Överensstämmer med RoHS

▪ ** Bred aktiv isolationsbandbredd, ** lågfrekvens isolationseffekt

▪ Aktiv vibrationseliminering av Yahrtz **, främst isolering inom 0,6-6Hz-band

▪ Stackbar design

▪ Aktiv hård konstruktion istället för mjuk upphängning, ingen lågfrekvensdrift, aktiva komponenter kopplade till stiva fjäder

▪ Passiva fjädrar filtrerar belastningsresonansen från STACIS-sensorn och kräver mycket liten inställning, inte alls ***

▪ Kompatibel med instrumentens inre isolator på grund av motståndsbrister

▪ Last upp till 2000 kg

▪ Aktiva vibrationsisoleringssystem på marknaden**

Aktiv vibrationsisolering plattform prestanda

Använd VC-C (500 μm/s, 12,5 μm/s RMS) för att testa en nyttolast på 4 500 pund (2 045 kg)

Aktiv vibrationsisoleringsplattform Specifikationer

Prestanda Specifikationer

STACIS-användare och tillämpningsområden

Mikroelektronik, halvledare

▪ Chipdetektion

▪ Mikrografisk teknik

▪ maskkalibrering

Vetenskaplig forskning, nanoteknik

▪ SEM、TEM

▪ STEM、SPM

3. laserplatser

▪ Livsvetenskap, läkemedelsutveckling

4 Industriella tillämpningar

▪ Precisionsbearbetning

Varför välja ett aktivt isoleringssystem?

▪ Markvibrationer elimineras starkt från <1Hz och pneumatiska plattformar kan inte fungera effektivt vid denna låga frekvens

▪ Förbättra kvalitet och produktivitet

▪ Bildförmåga för mindre funktioner

▪ Frontlinjeforskning

▪ Stabiler än pneumatiska plattformar

▪ ** Lösning som uppfyller SEM:s standardparametrar för installation på plats

▪ Lägre kostnader för ny laboratorie- och forskningsutrustning

Varför väljer du STACIS

▪ Det är i vetenskapsmännens hjärta och ger en så skakningsfri miljö som möjligt.

▪ ** Kraftfullt lågfrekvensisoleringssystem på marknaden.

▪ För närvarande har alla SEM-tillverkare offentliggjort krav på installationsparametrar, och de vibrationsparametrar som behövs måste uppfyllas av ett aktivt vibrationsisoleringssystem.

▪ STACIS** uppfanns på 1990-talet och har vidareutvecklats, utvecklats och installerats av TMC med tusentals aktiva vibrationsisoleringssystem som tillförlitliga lösningar inom aktiv vibrationskontroll.

STACIS är hundratals gånger hårdare än pneumatiska isolatorer

Stabilitetstiden som svar på störningar förkortas kraftigt tack vare den unika seriella konstruktionen och är idealisk för maskintillverkning, dynamisk belastning, laser eller oberoende styva plattor där ljuskällor måste installeras.

Följande fördelar finns i branschen **

▪ STACIS aktiva isoleringsbandbredd är 0,6 Hz - 150 Hz

▪ Aktiv vibrationseliminering med 6 frihetsgrader, 8-10dB vid 1 Hz

▪ Från 2-3Hz, isolering upp till 90% (20dB)

Professionell miljöundersökning

Miljöundersökning före och efter installation, inklusive vibrationer, magnetfält och ljudvågor

Certifiering av miljösystemet efter installation

▪ Utmärkta miljötjänster

▪ Utfärda professionella miljörapporter

▪ Tillhandahåller vibrationer, magnetfält, ljuddetektion och lösningar

▪ TMC rekommenderar praktiska lösningar till användare på grundval av sin långa erfarenhet

▪ Mer än 40 års erfarenhet inom branschen **

Tillämpa foton