ICP-MS är en ny typ av anorganisk element- och isotopanalysteknik som snabbt identifierar nästan alla element i den periodiska tabellen samtidigt. ICP-MS-tekniken överträffar den traditionella anorganiska analysetekniken som induktivt kopplad plasmaspektroskopiteknik (ICPAES), atomabsorption av grafetovn (GFAAS) och kvicksilverkald atomabsorption teknik (CVAAS) tillsammans i analytisk förmåga och är känd som den mest spännande utvecklingen av samtida analytiska tekniker.

Tillämpningsområden för Agilents ICP-MS-teknik inkluderar:
Miljöprovsanalys, inklusive analys av kranvatten, ytvatten, grundvatten, havsvatten och olika marker, avfall etc.
Analys av halvledarmaterial
• Provanalys av glas, keramik och metallurgi;
• geologisk forskning;
• Klinisk forskning inom biologiska livsmedel och läkemedel;
• Analys av kärnmaterial
• Analys av petrokemiska prover;
• rättsmedicinsk tillämpning och forskning;
Nyligen har värdering av element och morfologisk analys inom miljötoxicitet och livsvetenskap i kombination med separationsteknik blivit ett fokus för ICP-MS-teknikapplikationer.
ICP-MS Analysegenskaper:
Snabbt och samtidigt upptäcka nästan alla element i den periodiska tabellen
Lägsta detektionsgräns (upp till ppq)
Analys av effektivitet/kostnad
Bredaste linjära dynamiska område – direkt detektering från ppq till hundratals ppm
● Spektralitetslinjer är enklaste, störningar är minsta, noggrannhet och precision är bra
Behöver mycket låg provvolym (ul till ml), snabb analyshastighet (1-3 minuter / prov)
Flexibla och mångsidiga inspektionsmönster
Analys av ultraspår av föroreningar i vanliga material för halvledarindustrin:
Fasta ämnen: Si; GaAa monokristallina skivor; Kvarts, kiselkarbid och andra ugnmaterial; Elektroder av högren metall etc.
vätska: ultrarent vatten; HF;HNO3; HCI; H2SO4; H2O2; Ammoniak osv.
Gas: SiH4 TE0S; NF3; N2 och
Agilent ICP-MS kan analysera organiska prover direkt:
Agilent ICP-MS högeffektiva, högeffektiva skyddande rektkylda plasmateknik har använts för att mäta spårföroreningar på ppt-nivå i en rad organiska prover.
För vissa av dessa prover, andra metoder kan inte få tillfredsställande resultat, hög effekt skydd rektikal plasmateknik är den enda analysmetoden.
• Starka alkaliska rengöringsmedel - tetrametylammoniakahydroxid (TMAH) etc.
Vanliga organiska lösningsmedel - torfen, metafen, IPA etc.
● Prov med hög matris - fotogravir, flytande kristaller, BPSG, PSG och andra flyktiga rengöringsmedel - aceton, metanol och så vidare.