Produktbeskrivning
Normaltemperaturkatalytiska gasreningssystem
Utmärkt för massgasrening, ger dig en lösning för gasrening av hög kvalitet och lägsta kostnad. Med fördelarna med kompakt struktur, låg kostnad för drift och hög tillförlitlighet kan den effektivt rena massor av gaser som innehåller olika föroreningar för att uppnå ultrarena gaskrav, samtidigt som den har minimal trycknedgång och utmärkt kontinuerlig arbetsförmåga. Hela systemet är utformat med lyftmontering och kan användas i olika områden och områden med olika storlekskrav.
Produktprestanda
Lämplig för användning med rågas med en renhet på minst 99,99%
* Denna produkt är dubbelstruktur, en uppsättning arbete, en annan uppsättning återvinning reserv
Gasrening efter vatten, syre och andra orenheter <10ppb
◎ Elektrokemiskt polerat 316 (L) rostfritt stål ◎ Inbyggt högeffektivt filter
◎ Bästa behandlingscykeldesign, stor fyllningsvolym av adsorbent, förlängd livslängd
◎ Den här produkten har en kompakt layout och liten yta
Produktapplikationer
◎ Skyddsgasrening: stål, petrokemi, maskinindustri
Gas primär rening som behövs för den elektroniska industrin som är högren monokristallisk kisel, chip-förlängning, massintegrerade kretsar och produktion av fotoelektriska produkter.
Halvledarprocessutrustning: CVD, MOCVD, HVPE, diffusionsugn etc.
• Massiv gasrening
Systemparametrar