Översikt

Halvledartillverkningsanläggningar, nanotekniska center, nanoanläggningar och andra precisionstillverknings- och forskningscenter kombinerar ofta rena rum med aktiva falska marksystem för att uppfylla komplexa anläggningskrav (rörledningar, kablar, gasledningar osv.) och upprätthålla strikta rengöringsstandarder. Denna mark är inte lämplig för produktions-, inspektions- och mätutrustning som är känslig för vibrationer. Den rörliga marken kan inte ge den nödvändiga tysta vibrationsmiljön för dessa verktyg. TMC:s Quiet Island erbjuder en innovativ lösning genom att ersätta en del av den aktiva marken med en "lugn ö" som är fast på botten. Quiet Island består av en plattforms topp som är kompatibel med ett rent rum och en applikations- och platsspecifik stödstruktur.

Dämpning

Quiet Island**s huvudsakliga stödkomponenter och kärnteknik är integrerade i STACIS III:s aktiva dämpningssystem. Detta "stiva" trygghetsdämpningsstödsystem är idealiskt för alla vibrationskänsliga instrument och gör det möjligt för sådana verktyg att fungera med höga standarder i bullriga miljöer. STACIS III är kompatibel med automatiserade wafer bearbetningsverktyg, högupplösta elektronstrålavbildningsverktyg, jonstrålfräsverktyg och alla verktyg med passiva eller aktiva interna isolationssystem (se vår vitbok om att stapla aktiva isolatorer på aktiva isolatorer). Dessutom ger den vibrationsisolering inom ett brett frekvensområde. Och "hård installation" design är mycket hård, så det finns inga stabilitetsproblem för högre, tyngre och lättare verktyg.

Stående och hållare

Extremt robusta rör för att stödja STACIS-isolatorer är utformade av TMCs erfarna ingenjörteam och tillverkade av vår ISO 9001-fabrik enligt höga standarder och svetscertifierade specifikationer. Varje Quiet Island är noggrant utformad för olika aktivitetsmarkhöjder, geometrier och verktygstorlekar. Med tusentals installationer över hela världen som stöder mer än 200 olika instrumentmodeller har TMC stor kunskap och erfarenhet för att utforma stödstrukturer som uppfyller STACIS och dina anläggningsbehov.

Stiv plattform

Plattformen består av en 4 tum (100 mm) tjock stålplåt som är utformad och tillverkad av TMC, där stålplåten fastnar runt ett lätt, komprimerbart, dämpat kärnmaterial. Skiktläggning av hårda stålplåtar och kärnor med epoxidharts i en sömlös rostfritt stålplåta ger extremt hög stivhet och strukturell dämpning. Stora tvärsnitt och stål innehåll producerar mycket hög övergripande stivhet. Toppen och sidan är ett sammanhängande rostfritt stålhus för att upprätthålla ren, vacker och integritet. TMC kan designa och tillverka applikationsspecifika plattformar, inklusive snitt, speciella former, fasta hål och hängringsbultar, efter behov.

Quiet Islands vs. Quiet Buildings

Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]

Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at 'as built' and two times thereafter [2]

It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]

The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).

TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.

See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing 'Quiet' Buildings article on AZO Nano.

1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source

2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source

Fördelar med Quiet Island

Med STACIS-TMC-branschens aktiva PED-dämpningsteknik, hårdmonterad design och vibrationsisolering från 0,6 Hz är den kompatibel med inbyggda isolatorer.

Flexibilitet för modulering, anpassning och omplacering - Varje plattform är skräddarsydd för kundens applikation, men till skillnad från betongplattformar kan dessa plattformar enkelt omkonfigureras om verktyg eller markegenskaper ändras.

Kompetens - TMC har stor erfarenhet av att samarbeta med halvledartillverkare, forskningsinstitutioner och ultraprecisionstillverkare. Vi förstår våra kunder och deras behov. Vi designar och tillverkar själva.

Prestanda

På Quiet Island, 24 tum hög, 40 tum x 60 tum, på fyra STACIS-hållare,
Mät överföringsförmågan under VC-C-ingång från marken

Specifikationer

Prestanda Specifikationer

Isolatorens design, storlek, miljö och användningskrav

Specifikationer för DC-2020

Övriga parametrar

ÖvrigtStilla ön

Stora instrument utan miljövibrationsspecifikationer kräver vanligtvis ett styvt och stabilt stöd som är åtskilt från den rörliga marken. Stiv Quiet Island är den perfekta lösningen. Stiv Quiet Island har samma högpresterande plattforms topp och kan också skräddarsydas för rörliga golv rengöringsrum i alla höjder, alla geometrier på botten och alla verktygsstorlekar. TMC erbjuder en rad olika typer av pelare för att möta olika behov, vilket resulterar i en modulär, flexibel omplacerings- och uppgraderingslösning som är specifik för instrument och anläggningar.

Tillämpa foton

Eftersom det är installerat på vår Quiet Island ® Komplexiteten, känsligheten och värdet av utrustningen på den underliggande markplattformen skapar vi inte en standardkatalog för beställningarNej.

Vi anser att varje plattform bör vara skräddarsydd för en specifik applikation. De rekommenderade beställningsstegen är följande:

▪ Berätta för oss vilken enhet eller instrument du vill isolera. Eftersom vi har installerat tusentals enheter kan vi redan ha en plattform som uppfyller dina applikationskrav. Dessutom har vi nära kontakter med tillverkare av stegare, justerare, SEM och andra verktyg, så vi känner till nya dimensioner, former, viktförändringar och markvibrationsspecifikationer.

▪ Alternativt kanske du vill ha en plattform som är lämplig för ett aktivt marknattssystem. Kunder väljer vanligtvis en plattform på 47 x 47 tum (1 190 x 1 190 mm) för att ersätta par golvklattor.

▪ Berätta för oss att din aktivitetsmark är högre än den fasta grunden.

▪ Beskriv eller ge oss en illustration som visar eventuella hålmönster i din underliggande golv eller stålbälk/ruttengeometri.

▪ Ge oss data om markvibrationer eller diskutera med oss hur mätningen ska ordnas.

▪ Ta hänsyn till instrumentets vibrationskänslighet. Vår stiva, icke-resonansfulla design ger tillräckligt stöd för många verktyg. Mer känsliga applikationer kommer att kräva luft- eller piezoelektriskt stöd