I många ultrarena gasapplikationer, till exempel i halvledarindustrin, är resterande fukt i gasen avgörande för att processen ska fungera korrekt. Kontinuerlig mätning av fuktighet har alltid varit svårt och kräver sofistikerade fuktanalysatorer eller dyr analysteknik. Emellertid har MISSELL-mätare för närvarande på marknaden ett enkelt, ekonomiskt och ganska effektivt alternativ för att mäta daggpunktvärden online, med en nedre gräns som är otroligt låg till -120 ° C (vilket motsvarar mindre än 1 ppb).av V). Pura-sändare bygger på flera års erfarenhet av att tillverka och verifiera impedance daggpunktssensorer för MISSELL-instrumenten och kombinerar standard industrialiserade material och tillverkningsprocesser för att skapa den första lågprissändaren för halvledartillverkningsindustrin och ultrarena gasapplikationer. Höjdpunkter Mät nedre gräns -120 ° C daggpunkt (1 ppb)av V) Stabil mätning och bra upprepalighet Högt integrerad provtagningsenhet Analog och digital utgång Enkel installation Processgränssnitt för VCR Kompakt och liten design Display/alarmenhet valfri
Tekniska indikatorer
Sensorer Typ av sensor Misel keramisk fuktighetssensor Mängd -120 ~ -40 ° C Daggpunkt (verifierad till -100 ~ -40 ° C) Precision ± 1 ° C -40 ~ -60 ° C; ± 2 ° C -61 ~ -100 ° C; ±4°C -101 ~ -120°C (uppskattad) Upplösning 0,1 ° C -40 ~ -79,9 ° C; 1 ° C -80 ~ -100 ° C; 1 ~ 3 ° C -100 ~ -120 ° C Tryck Minst 10-9 torr högst 24 MPa Gasflödet 1 ~ 5 Nl / min elektriska Strömförsörjning Vanligtvis 24 V DC, minst 10 V ~ högst 28 V, maximal ström 25 mA Utgång 4-20 mA-utgång, justerbart med dedikerad programvara, justeringsområde från 1 till 80 °C (tillhandahålls som standard) Maximal belastning = 100 Ω + 50 Ω x (V-strömförsörjning -8) Utdatafelstatus Standardutgångsfelmeldingen är följande: 23 mA = sensorfel; 20 mA = överstigande gräns; 4 mA = överstigande gräns Mekaniska egenskaper Sensorhylsa Rostfritt stål, 0,1-0,2 Ra µm galvaniserad innerpolerad Gasväg anslutningsport Premium- eller OEM-typ: ¼' m VCR-gränssnitt Pura Sensor typ: ½' m VCR-gränssnitt Installationsinställningar Premium eller OEM-modell: 120,00 mm lång, sluttätning av luftvägsporten. Ingen behörighet att reservera rörtomhet 2 M4 x 0,7, 7 mm djupa monteringshål på basen med ett avstånd på 20 x 20 mm mot varandra Pura Sensor-typ: Passar i en ½' videoport som tillhandahålls av användaren storlek Premium eller OEM: 120 x 35 x 150 mm Pura Sensor 型: 132 x 35mm Vikt Premium eller OEM: 450g Pura Sensor 型: 180g Förpackning Pura: Dubbellagerförpackning, inertgasfyllningstätning Pura OEM eller Pura Sensor-typ: Enkellagerförpackning Alla valbara tillbehör: Självständig förpackning Sensortyp med eget skyddsskydd på sensorchipsidan för transport och drift