Mätning av elektrodbeläggningstjocklek
Mätningskrav
Skanna en linje för att mäta segmentskillnaden mellan substratet och beläggningen, dvs. beläggningens tjocklek
Översikt över huvudfunktioner
Kontaktfri mätning, integrerad design
2. Brett tillämpningsområde, enkel montering
± 0,5 till ± 1 μm upprepad precision garanterad
4. en linje skanning, hastighet kan nå 50mm / s, mycket förbättra detektionshastigheten
5. offline detektion, tjockleksdata lagring, bilda hanteringsstatistik / analys grunddata
Rik larmfunktion, OK, NG-tips, övervakning och mätning av hela processen, kontroll av kvalitet och ökad effektivitet

Mätresultat
Beläggningstjockleken är ca 18μm ± 1μm
Lösning av problem med mätenheter i detta skede
Vissa krav på mätmaterial
Kontaktmätning, skador på mätmaterialet
Litet mätområde, osäker plats, svårt att mäta
Långsam mäthastighet, låg noggrannhet och stora mätfel
Komplex struktur och höga kostnader
